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          1. ALD / CVD前驅體系列產品

            高純ALD/CVD前驅體產品是整個電子工業體系的核心源材料之一,其被廣泛應用于電腦芯片、太陽能電池、移動通訊等電子器件制造的諸多方面,在新型太陽能電池、電子產品等領域發揮著巨大作用。

            六氯乙硅烷

            Cl6Si2

            ≥99.999995%

            四乙氧基硅烷

            C8H20O4Si

            ≥99.9999999%

            八甲基環四硅氧烷

            C8H24O4Si4

            ≥99.999999%

            四甲基硅烷

            C4H12Si

            ≥99.99999%

            硼酸三乙酯

            C6H15BO3

            ≥99.9999999%

            磷酸三乙酯

            C6H15O4P

            ≥99.9999999%

            四(二甲胺基)鈦

            C8H24N4Ti

            ≥99.9999%

            四氯化鈦

            Cl4Ti

            ≥99.99999%

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